台式扫描电子显微镜

作者：管理员发布于：2017-03-17  浏览次数：

台式扫描电镜(台式SEM)简介：
台式扫描电子显微镜(Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM)的概念是美国FEI公司(1997年原FEI和飞利浦电子光学合并而成)提出的，并与2006年正式发布了旗下的Phenom台式扫描电镜，并于2009年成立Phenom-World公司，专业研发并生产台式扫描电镜。相较于传统大型SEM，台式扫描电镜具有体积小巧、操作简便、价格便宜，最大放大倍数在100,000倍左右，快速抽真空，不用喷金测量不导电样品等优势。此类新型仪器的出现填补了光学显微镜与传统大型扫描电子显微镜之间的间隙，可广泛应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、食品药品、纺织纤维、地质科学等诸多领域。
台式扫描电镜(台式SEM)组成：
真空系统:一般采用机械泵与分子泵联动
电子枪:一般为LaB6(六硼化镧)、CeB6(六硼化铈)或钨灯丝，其中钨灯丝的寿命较短，仅为40-100小时，需频繁更换，LaB6、CeB6灯丝寿命超过1000小时，且亮度更高。目前尚没有采用场发射(Field Emission)的台式扫描电镜。
电磁透镜
探测器:背散射电子或二次电子探测器